در فرآیند تولید نیمههادیها، فرآیند برش ویفرها تنها میتواند با سرعتی انجام شود که مرحله جداسازی با استفاده از نور ماورای بنفش اجازه دهد. اگر خروجی طیفی لامپ تغییر کند یا میزان تابش یکنواخت نباشد، ممکن است با مشکلاتی مانند جدا شدن لایههای فیلم، ترک خوردن لبههای ویفر، یا حتی شکستن ویفر روبرو شویم. ما لامپهای جایگزین خود را با در نظر گرفتن این واقعیت طراحی کردهایم؛ یعنی خروجی لامپ باید پایدار و قابل پیشبینی باشد تا فرآیند تولید بدون مشکل ادامه یابد.
از نظر فنی، چه چیزهایی اهمیت دارد؟
ما از لامپهای بخار جیوه با فشار بالا استفاده میکنیم؛ خروجی طیفی این لامپها قابل پیشبینی است و در حدود طول موج ۳۶۵ نانومتر قرار دارد؛ جایی که اکثر چسبها و فیلمهای مورد استفاده در فرآیند جداسازی، بیشترین کارایی را دارند. شدت تابش در این ناحیه به گونهای طراحی شده است که مقدار کافی از فوتونها در سطح کار تولید شود؛ همچنین طول قوس الکتریکی نیز با الگوی بازتابنده هماهنگ است تا میزان تابش در سراسر خط اتصال یکنواخت باشد.
پوشش دوکرویکی روی لامپ نیز به شکلدهی به طیف نوری کمک میکند و از گرمای ناخواسته ناشی از نور مادون قرمز جلوگیری میکند؛ این امر به حفظ پایداری ویفرها کمک میکند. میتوانید انتظار داشته باشید که خروجی لامپ برای بیش از ۵٬۰۰۰ ساعت پایدار باقی بماند؛ همچنین میزان تابش نیز در هر بار استفاده یکنواخت خواهد بود.
چرا این روش مؤثر است؟
فرآیند جداسازی ویفرها نیازمند استفاده از نور در طول موج مناسب است؛ اگر انرژی کافی وجود نداشته باشد، چسبها همچنان به یکدیگر متصل خواهند ماند و باقیماندههایی از چسبها باقی خواهد ماند؛ اما اگر انرژی بیش از حد باشد، گرمای زیادی تولید خواهد شد و این امر میتواند به ویفرها آسیب برساند.
لامپهای جایگزین ما، انرژی طیفی مورد نیاز را در طول موج ۳۶۵ نانومتر تأمین میکنند؛ بنابراین فیلمهای مورد استفاده در فرآیند جداسازی به سرعت و به شکل تمیزی جدا میشوند. در نتیجه، زمان پردازش کاهش مییابد، تعداد ویفرهای باکیفیت کمتر میشود، و یکنواختی لامپها در ماشینهای مختلف حفظ میشود.
نکاتی که باید در نظر گرفت:
نصب لامپها نیازمند تطابق دقیق بازتابندهها و همچنین اطمینان از سازگاری بالاستر لامپ است؛ اگر اتصالات لامپ مناسب نباشد، پایداری قوس الکتریکی تحت تأثیر قرار خواهد گرفت و عمر لامپ کوتاه خواهد شد؛ بنابراین باید نوع کانکتور، ولتاژ و الگوی روشن شدن لامپ را با سیستم خود بررسی کنید.
این لامپها در حین کار، بدون تولید ازن هستند؛ اما در پایان عمر خود، باید طبق قوانین مربوط به مواد خطرناک دفع شوند. همچنین، باید مطمئن شوید که رادیومتر شما قادر به اندازهگیری در طول موج ۳۶۵ نانومتر باشد؛ تا بتوانید خروجی لامپ را اندازهگیری کرده و لامپها را بر اساس دادهها، نه تخمین، تعویض کنید.