На производстве полупроводников процесс разрезания пластин может осуществляться только с той скоростью, с которой это позволяет процесс разрушения связей между компонентами с использованием УФ-лучей. Если спектральный состав излучения лампы меняется или доза излучения не остается постоянной, это может привести к отслоению пленки, повреждению краев пластины или, что ещё хуже, к её разрушению. Мы разрабатываем заменяемые ртутные лампы с учетом этих условий: их спектральный профиль должен быть стабильным и предсказуемым, чтобы процесс работы мог продолжаться без перебоев.
Что имеет значение с технической точки зрения
Мы используем лампы с высоким давлением ртутного пара, чьи параметры излучения можно контролировать. Спектр излучения сосредоточен в области 365 нм – именно здесь наиболее эффективно действует УФ-излучение на клеи и пленки. Максимальная интенсивность излучения рассчитана так, чтобы обеспечить достаточный поток фотонов на рабочей поверхности. Длина дуги соответствует геометрии отражателя, что обеспечивает равномерное распределение дозы излучения по всей поверхности пластины.
Кварцевая оболочка с дихроическим покрытием помогает формировать оптимальный спектр излучения и снижает избыточное ИК-излучение, которое может повредить тонкие пластины. Можно ожидать стабильной работы лампы в течение более 5 000 часов; отклонения в параметрах излучения остаются в узких пределах. Это позволяет сохранять стабильность значения мощности излучения от одной операции к другой.
Почему это работает
Процесс разрушения связей между компонентами не зависит от широты спектра излучения; важно обеспечить правильную дозу излучения на правильной длине волны. Недостаточное количество энергии приводит к тому, что клей остается неразрушенным, а избыточное количество энергии вызывает перегрев и повреждение пленки.
Наши заменяемые лампы обеспечивают стабильный спектр излучения в области 365 нм, что позволяет быстро и эффективно разрушать связи между компонентами. Это приводит к сокращению времени обработки, уменьшению количества бракованных пластин, а также к стабильности работы ламп на различных устройствах.
Что нужно учитывать при установке
При установке важно точно настроить положение отражателя и убедиться, что блок питания совместим с лампой. Несоответствие параметров блока питания может повлиять на стабильность работы лампы и сократить её срок службы. Проверьте тип разъема, напряжение и параметры зажигания в соответствии с требованиями вашей системы.
Эти лампы не выделяют озон во время нормальной работы, но при утилизации их все равно необходимо соблюдать правила обращения с опасными материалами. Также убедитесь, что ваш радиометр может измерять излучение в длинноволновом диапазоне 365 нм – это позволит контролировать параметры излучения и заменять лампы на основе данных, а не предположений.