अर्धचालक उत्पादन प्रक्रिया में, वेफरों को काटने की प्रक्रिया तभी तेज़ हो सकती है, जब UV डिबॉन्डिंग प्रक्रिया उसकी अनुमति दे। यदि लैंप का स्पेक्ट्रल आउटपुट अस्थिर हो जाए, या डोज़ सही न हो, तो इसके परिणामस्वरूप वेफरों में दरारें आ सकती हैं, या वेफर टूट सकते हैं। हम ऐसी ही परिस्थितियों के लिए विशेष रूप से डिज़ाइन किए गए मर्क्युरी लैंप उपलब्ध कराते हैं… ताकि आउटपुट स्थिर एवं पुनरावर्ती रहे, और प्रक्रिया बिना किसी रुकावट के जारी रह सके।
तकनीकी दृष्टि से क्या महत्वपूर्ण है?
हम उच्च-दबाव वाले मर्क्युरी वाष्प लैंपों का उपयोग करते हैं… जिनका उत्सर्जन प्रोफ़ाइल 365 नैनोमीटर तरंगदैर्घ्य पर केंद्रित होता है… क्योंकि यही वह तरंगदैर्घ्य है जिस पर अधिकांश UV डिबॉन्डिंग प्रक्रियाएँ सबसे प्रभावी रूप से काम करती हैं। शिखर विकिरण मात्रा ऐसी होती है कि कार्य-सतह पर पर्याप्त फोटॉन प्राप्त हों… एवं आर्क की लंबाई ऐसी होती है कि बॉन्ड लाइन पर डोज़ समान रहे।
डाइक्रोइक-लेपित क्वार्ट्ज आवरण, स्पेक्ट्रम को नियंत्रित करने में मदद करता है… एवं अनावश्यक आईआर ऊष्मा को कम करता है… जिससे पतले वेफरों पर कोई नुकसान न हो। 5,000 घंटों के उपयोग के बाद भी आउटपुट स्थिर रहता है… ताकि mJ/cm² मान हर बार समान रहे।
यह यहाँ क्यों काम करता है?
वेफरों को अलग करने हेतु विस्तृत स्पेक्ट्रम की आवश्यकता नहीं है… बल्कि सही तरंगदैर्घ्य पर सही डोज़ ही आवश्यक है। यदि ऊर्जा कम हो, तो चिपकने वाले पदार्थ ठीक से अलग नहीं होते… जिससे अवशेष बच जाते हैं। यदि ऊर्जा अधिक हो, तो ऊष्मा एवं अन्य समस्याएँ पैदा हो जाती हैं।
हमारे लैंप, 365 नैनोमीटर तरंगदैर्घ्य पर स्थिर ऊर्जा प्रदान करते हैं… जिससे UV फिल्में जल्दी एवं साफ़ तरीके से अलग हो जाती हैं। इसके परिणामस्वरूप प्रक्रिया तेज़ हो जाती है… वेफरों में कम नुकसान होता है… एवं विभिन्न मशीनों में लैंपों का आउटपुट स्थिर रहता है।
क्या ध्यान में रखना आवश्यक है?
लैंप को सही तरीके से स्थापित करने हेतु रिफ्लेक्टरों का सही एलाइनमेंट आवश्यक है… एवं बैलास्ट का भी सही उपयोग आवश्यक है। यदि ड्राइवर सही न हो, तो लैंप की गुणवत्ता प्रभावित हो जाती है… इसलिए कनेक्टर का प्रकार, वोल्टेज एवं इग्निशन प्रोफ़ाइल की जाँच आवश्यक है।
ये लैंप सामान्य संचालन के दौरान ओज़ोन-मुक्त रहते हैं… लेकिन उनके निपटान हेतु खतरनाक सामग्रियों संबंधी नियमों का पालन आवश्यक है। साथ ही, यह भी सुनिश्चित करें कि आपका रेडियोमीटर 365 नैनोमीटर तरंगदैर्घ्य पर मापन कर सके… ताकि आप आउटपुट को डेटा के आधार पर ही जाँच सकें… अनुमानों के आधार पर नहीं।