Dans le domaine des semi-conducteurs, le découpage des wafer ne peut se faire que à la vitesse permette l’étape de décollement par UV. Si la lumière émise par la lampe varie ou si la dose n’est pas constante, cela peut entraîner des problèmes tels que des déchirures dans les couches de revêtement, des fissures aux bords du wafer, voire même sa rupture complète. Nos lampes de remplacement sont conçues pour répondre à ces exigences : elles assurent une luminosité stable et répétable, permettant ainsi au processus de continuer sans heurts.
Ce qui est important sur le plan technique Nous utilisons des lampes à vapeur de mercure à haute pression, dont le profil d’émission est fiable et centré sur la longueur d’onde de 365 nm – c’est là que les adhésifs et les films utilisés pour le décollement fonctionnent le mieux. L’intensité luminose est adaptée pour fournir suffisamment de photons à la surface de travail. De plus, la longueur de l’arc électrique est ajustée en fonction de la géométrie du réflecteur, afin que la dose d’énergie soit uniforme le long de la ligne de séparation.
Un revêtement dichroïque sur l’enveloppe en quartz aide à moduler le spectre lumineux et à réduire le chauffage indésirable causé par les ondes infrarouges, ce qui pourrait endommager les wafer fins. On peut s’attendre à une luminosité stable pendant plus de 5 000 heures, avec des variations minimes – ce qui permet de maintenir une valeur constante en mJ/cm² d’un job à l’autre.
Pourquoi cela fonctionne bien ici Le décollement des wafer ne dépend pas du spectre lumineux général, mais plutôt de la dose d’énergie appliquée à la bonne longueur d’onde. Trop peu d’énergie empêche le cross-linking de l’adhésif, ce qui laisse des résidus difficiles à éliminer. Trop d’énergie, quant à elle, provoque un surchauffage et endommage les films.
Nos lampes de remplacement assurent donc une émission lumineuse répétable à 365 nm, ce qui permet au film UV de se détacher rapidement et proprement. Les avantages sont des temps de traitement plus courts, moins de wafer endommagés, et une fiabilité constante entre les différentes machines.
Points importants à considérer L’installation nécessite une alignment précise du réflecteur, ainsi que la vérification de la compatibilité du ballast. Un driver inadapté peut nuire à la stabilité de l’arc électrique et raccourcir la durée de vie de la lampe. Vérifiez donc le type de connecteur, la tension et les paramètres d’allumage en fonction de votre système.
Ces lampes ne produisent pas d’ozone pendant leur fonctionnement normal, mais leur élimination à la fin de leur vida doit respecter les protocoles relatifs aux matériaux dangereux. Vérifiez également que votre radiomètre puisse mesurer à 365 nm, afin de pouvoir suivre la luminosité et remplacer les lampes en fonction des données mesurées, et non par estimation.