Dalam proses penghasilan semikonduktor, proses pemotongan wafer hanya dapat berlangsung secepat yang dibenarkan oleh langkah pemisahan menggunakan cahaya UV. Jika output spektrum lampu berubah-ubah atau dos cahaya yang digunakan tidak konsisten, ini akan menyebabkan masalah seperti lapisan filem yang terpisah, bahagian tepi wafer yang rosak, atau lebih teruk lagi, wafer tersebut patah. Kami mencipta lampu merkuri pengganti yang mempunyai output yang stabil dan boleh diulang, agar prosesnya dapat berjalan tanpa gangguan.
Apa yang penting dari segi teknikal
Kami menggunakan lampu uap merkuri bertekanan tinggi yang memiliki profil pelepasan cahaya yang konsisten, dengan fokus pada panjang gelombang 365 nm – di mana kebanyakan bahan perekat dan filem UV paling efektif. Intensiti cahaya yang dihasilkan direka untuk memberikan pancaran foton yang cukup pada permukaan kerja, dan panjang lengkungan elektriknya disesuaikan dengan geometri reflektor agar dos cahaya yang diberikan sama rata di seluruh permukaan wafer.
Lapisan kuarsa yang dilapisi dichroic membantu membentuk spektrum cahaya dan mengurangkan haba berlebihan yang boleh merosakkan wafer yang tipis. Anda boleh mengharapkan output yang stabil selepas 5,000 jam penggunaan, dengan perubahan output yang minimum – sehingga nilai mJ/cm² tetap konsisten antara setiap sesi pengeluaran.
Mengapa ia berkesan
Proses pemisahan wafer bukanlah tentang spektrum cahaya yang luas; ia adalah tentang penggunaan dos cahaya yang tepat pada panjang gelombang yang sesuai. Jika tenaga yang digunakan terlalu sedikit, bahan perekat akan tetap melekat pada wafer, menyebabkan sisa-sisa yang sukar untuk dihilangkan. Sebaliknya, jika tenaga yang digunakan terlalu banyak, ia akan menyebabkan haba berlebihan dan kerosakan pada filem tersebut.
Lampu pengganti kami memberikan tenaga spektral yang konsisten pada panjang gelombang 365 nm, sehingga filem UV dapat dipisahkan dengan cepat dan bersih. Hasilnya adalah masa proses yang lebih cepat, lebih sedikit wafer yang rosak, serta konsistensi yang boleh dipercayai antara lampu yang satu dengan yang lain.
Perkara yang perlu diperhatikan
Pemasangan lampu memerlukan penyesuaian yang tepat pada reflektor, serta memastikan bahawa komponen penstabilan voltan sesuai. Jika komponen tersebut tidak sesuai, ia akan menjejaskan stabiliti arus elektrik dan memendekkan jangka hayat lampu. Oleh itu, pastikan jenis konektor, voltan, dan profil pencucuhan sesuai dengan sistem anda.
Lampu-lampu ini tidak menghasilkan ozon semasa operasi biasa, namun cara pelupusan lampu setelah tamat tempoh penggunaannya masih perlu mengikut prosedur khas untuk bahan berbahaya. Pastikan juga alat pengukur radiasi anda mampu mengukur pada panjang gelombang 365 nm, agar anda dapat memantau output lampu dan menggantinya berdasarkan data, bukan secara kasar.