プリンター用の交換用水銀ランプ

半導体製造工程において、ウェーハの切断速度は、UV剥離処理のスピードによって決まります。もしランプのスペクトル出力が不安定だったり、照射量が一定でなければ、フィルムの剥離やウェーハの端の破損、最悪の場合はウェーハ自体が割れてしまうこともあります。私たちが開発する交換用水銀ランプは、このような状況に...