Dalam proses pembuatan semikonduktor, proses pemotongan wafer hanya dapat berlangsung secepat yang memungkinkan oleh tahap pelunakan bahan perekat menggunakan sinar UV. Jika spektrum cahaya yang dihasilkan oleh lampu tidak stabil atau dosisnya tidak konsisten, maka akan terjadi masalah seperti retaknya permukaan wafer atau bahkan kerusakan wafer secara keseluruhan. Kami merancang lampu pengganti berbasis merkuri agar dapat menghasilkan cahaya yang stabil dan konsisten, sehingga proses produksi dapat berjalan tanpa hambatan.
Yang penting dari segi teknis:
Kami menggunakan lampu uap merkuri bertekanan tinggi dengan profil emisi yang dapat diandalkan, dengan panjang gelombang utama pada 365 nm—yaitu panjang gelombang yang paling efektif untuk melunakan bahan perekat dan lapisan film. Intensitas cahaya yang dihasilkan dirancang sedemikian rupa agar cukup untuk memecah ikatan antar molekul dalam bahan perekat tersebut. Panjang busur listrik juga disesuaikan dengan geometri reflektor, sehingga dosis cahaya yang diterima di area yang bersangkutan tetap konsisten.
Lapisan kuarsa berwarna dikroik membantu membentuk spektrum cahaya yang dihasilkan, sekaligus mengurangi panas berlebih yang dapat merusak wafer tipis. Anda dapat mengharapkan kinerja lampu yang stabil setelah 5.000 jam penggunaan, dengan penyimpangan yang sangat kecil—sehingga nilai mJ/cm² tetap konsisten dari satu pekerjaan ke pekerjaan lainnya.
Mengapa hal ini efektif:
Proses pelunakan bahan perekat tidak membutuhkan spektrum cahaya yang luas; yang penting adalah dosis cahaya yang tepat pada panjang gelombang yang sesuai. Jika energi yang digunakan terlalu sedikit, ikatan antar molekul dalam bahan perekat tidak akan terputus, sehingga akan tersisa sisa-sisa bahan perekat yang sulit dihilangkan. Sebaliknya, jika energi yang digunakan terlalu banyak, maka akan timbul panas berlebih yang dapat merusak wafer.
Lampu pengganti yang kami gunakan menghasilkan energi cahaya yang konsisten pada panjang gelombang 365 nm, sehingga lapisan film dapat terpisah dengan cepat dan bersih. Dengan demikian, waktu proses produksi menjadi lebih singkat, jumlah wafer yang gagal berkurang, dan konsistensi kinerja lampu tetap terjaga di berbagai mesin.
Hal-hal yang perlu diperhatikan:
Pemasangan lampu memerlukan penyesuaian yang tepat pada posisi reflektor, serta memastikan bahwa komponen pendukung lampu cocok dengan spesifikasi sistem. Jika komponen pendukungnya tidak sesuai, stabilitas arus listrik akan terganggu, sehingga umur lampu menjadi lebih pendek. Pastikan jenis konektor, tegangan, dan pola pengoperasian lampu sesuai dengan spesifikasi sistem Anda.
Lampu-lampu ini tidak menghasilkan ozon selama proses operasi normal. Namun, saat lampu sudah tidak bisa digunakan lagi, limbahnya harus dikelola sesuai dengan protokol pengelolaan bahan berbahaya. Pastikan juga bahwa alat pengukur radiasi Anda mampu mengukur cahaya pada panjang gelombang 365 nm, sehingga Anda dapat memantau kinerja lampu berdasarkan data yang akurat, bukan hanya berdasarkan dugaan semata.