In der Halbleiterproduktion kann das Schneiden der Wafer nur so schnell erfolgen, wie es die UV-Trennprozedur zulässt. Wenn die spektrale Ausstrahlung der Lampe schwankt oder die Dosis ungleichmäßig ist, können Probleme wie Delaminierung der Schichten, Bruch an den Rändern der Wafer oder sogar ein vollständiger Waferbruch entstehen. Unsere Ersatzlampen für Quecksilberlampen sind daher so konzipiert, dass eine stabile und wiederholbare Ausstrahlung gewährleistet wird – dadurch kann der Produktionsprozess ohne Unterbrechungen weiterlaufen.
Was technisch wichtig ist:
Wir verwenden Quecksilberdampflampen mit einem Emissionsspektrum, auf das man sich verlassen kann – mit einem Schwerpunkt bei 365 nm. An dieser Wellenlänge sind die meisten UV-Klebstoffe und -Schichten am effektivsten. Die maximale Strahlungsintensität wird so gestaltet, dass genügend Photonen auf die Arbeitsfläche gelangen. Zudem wird die Länge des Lichtbogens so gewählt, dass die Dosis entlang der Trennlinie gleichmäßig ist. Eine dünnwandige Quarzkugel mit Dichroikbeschichtung hilft dabei, das Spektrum zu formen und unerwünschte Infrarotstrahlung zu reduzieren, die dazu führen könnte, dass dünne Wafer beschädigt werden. Nach 5.000 Stunden Betrieb kann man mit einer stabilen Ausstrahlung rechnen – die Abweichungen bleiben dabei in engen Grenzen, sodass die Dosis in mJ/cm² von Auftrag zu Auftrag konstant bleibt.
Warum das funktioniert:
Bei der Trennung der Wafer geht es nicht um ein breites Spektrum, sondern darum, genau die richtige Dosis bei der richtigen Wellenlänge zu erreichen. Zu wenig Energie führt dazu, dass die Klebstoffe weiterhin verbunden bleiben und hartnäckige Reste hinterlassen. Zu viel Energie wiederum führt zu Überhitzung und Beschädigung der Schichten. Unsere Ersatzlampen liefern eine wiederholbare Energieverteilung bei 365 nm – dadurch werden die UV-Schichten schnell und sauber getrennt. Das Ergebnis sind kürzere Bearbeitungszeiten, weniger verschwendete Wafer sowie eine konstante Leistung der Lampen über mehrere Maschinen hinweg.
Worauf man achten muss:
Die Installation erfordert eine genaue Ausrichtung der Reflektoren sowie sicherzustellen, dass der Vorschaltgerät kompatibel ist. Ein inkompatibles Vorschaltgerät kann die Stabilität des Lichtbogens beeinträchtigen und die Lebensdauer der Lampe verkürzen. Überprüfen Sie daher den Steckertyp, die Spannung sowie das Zündprofil in Bezug auf Ihr System. Diese Lampen sind im Normalbetrieb ozonfrei – doch bei der Entsorgung am Ende ihrer Lebensdauer müssen die geltenden Vorschriften für gefährliche Materialien beachtet werden. Stellen Sie außerdem sicher, dass Ihr Radiometer in der Lage ist, bei 365 nm zu messen – so können Sie die Leistung der Lampen prüfen und diese gezielt ersetzen, anstatt einfach zu raten.