سیمی کنڈکٹر پروسیسنگ میں، ویفرز کو توڑنے کا عمل اسی رفتار سے ہو سکتا ہے جتنی رفتار UV ڈیبونڈنگ عمل کی اجازت دیتا ہے۔ اگر لیمپ کی طیفی خصوصیات تبدیل ہو جائیں یا اخراج کی مقدار مستقل نہ رہے، تو اس کے نتیجے میں فلموں میں دراڑیں پڑ سکتی ہیں، یا ویفر ٹوٹ سکتا ہے۔ ہم اپنے لیمپوں کو اسی حقیقت کے پیشِ نظر ڈیزائن کرتے ہیں؛ یعنی ایسا لیمپ جس کا اخراج مستقل اور قابل اعتماد ہو، تاکہ پروسیس بغیر کسی رکاوٹ کے جاری رہ سکے۔
تکنیکی اعتبار سے اہم باتیں:
ہم ایسا لیمپ استعمال کرتے ہیں جس میں اخراج کی شدت مستقل ہو، اور یہ اخراج 365 نینومیٹر کی لہر کے آس پاس ہو۔ زیادہ تر UV ڈیبونڈنگ عملوں میں یہی لہر سب سے مؤثر ہے۔ لیمپ کی روشنی کی شدت اس طرح منتخب کی جاتی ہے کہ کام کرنے والی سطح پر کافی فوٹون پہنچ سکیں، اور ریفلیکٹر کی ساخت کے مطابق ہی لیمپ کی روشنی تقسیم ہوتی ہے۔
ڈائکروک-کوٹڈ کوارٹز کی تہہ، طیف کی شکل کو بہتر بنانے میں مدد کرتی ہے، اور غیر ضروری IR تابکاری کو کم کرتی ہے؛ تاکہ پتلے ویفرز میں کوئی تبدیلی نہ آئے۔ 5,000 گھنٹوں کے بعد بھی لیمپ کا اخراج مستقل رہتا ہے، اور mJ/cm² کی قیمت بھی ہر بار یکساں رہتی ہے۔
اس کام میں لیمپ کیوں کارگر ہے؟
ویفرز کو توڑنے کے لئے وسیع طیف کی ضرورت نہیں ہے؛ بلکہ صحیح ویولینتھ پر مناسب مقدار میں توانائی کی ضرورت ہے۔ اگر توانائی کم ہو، تو چپکنے والے مواد باقی رہ جاتے ہیں، اور اگر توانائی زیادہ ہو، تو گرمی کی وجہ سے فلموں کو نقصان پہنچ سکتا ہے۔ ہمارے لیمپ، 365 نینومیٹر کی لہر پر مستقل توانائی فراہم کرتے ہیں؛ اس لئے UV فلمیں جلدی اور صاف طریقے سے الگ ہو جاتی ہیں۔ اس کے نتیجے میں پروسیس کا وقت کم ہو جاتا ہے، ویفرز کی تعداد کم ہو جاتی ہے، اور مختلف مشینوں میں لیمپوں کی کارکردگی یکساں رہتی ہے۔
خیال رکھنے والی باتیں:
لیمپ کی انسٹالیشن کے لئے ریفلیکٹر کی درست سیدھ میں ہونا ضروری ہے، اور بیلسٹ کا ہم آہنگ ہونا بھی ضروری ہے۔ اگر ڈرائیور مناسب نہ ہو، تو لیمپ کی کارکردگی متاثر ہو سکتی ہے، اور لیمپ کی عمر بھی کم ہو سکتی ہے۔ لہذا کنکٹر کی قسم، وولٹیج، اور آن اسٹارٹنگ پروفائل کو اپنے سسٹم کے مطابق چیک کریں۔
یہ لیمپ، عام استعمال کے دوران آزون پیدا نہیں کرتے، لیکن استعمال کے بعد ان کو خطرناک مواد کے طور پر ہی ٹھکانے لگایا جانا چاہیے۔ اور یقین کریں کہ آپ کا ریڈیومیٹر 365 نینومیٹر پر پیمائش کر سکتا ہے؛ تاکہ آپ لیمپ کی کارکردگی کو ڈیٹا کی بنیاد پر جان سکیں، نہ کہ قیاسات کی بنیاد پر۔