Yarı iletken üretim sürecinde, waferlerin kesilmesi, UV ayırma işleminin izin verdiği hızda gerçekleşebilir. Eğer lambanın spektral çıkışı değişirse veya uygulanan enerji miktarı tutarlı olmazsa, film tabakalarının ayrılması, kenarların kırılması veya daha kötüsü, waferin parçalanması gibi sorunlar ortaya çıkabilir. Biz de bu durumu göz önünde bulundurarak yedek cıva lambalar üretiyoruz: Çıkış değerleri sabit ve tekrarlanabilir olduğundan, bantlama işlemi kesintisiz devam edebilir.
Teknik açıdan önemli olanlar
Güvenilir bir emisyon profiline sahip, 365 nm dalga boyunda çalışan yüksek basınçlı cıva buharı lambaları kullanıyoruz. Çünkü çoğu UV ayırma yapıştırıcısı ve filmi en etkili şekilde bu dalga boyunda çalışır. Zirve ışınım değeri, işlenen yüzeyde yeterli foton akısını sağlayacak şekilde ayarlanmıştır. Ayrıca, ark uzunluğu reflektörün geometrisine uygun olarak seçilmiştir böylece bağlantı hattı boyunca uygulanan enerji miktarı eşit olur.
Dikroik kaplamalı kuvars konstrüksiyonu, spektrumu şekillendirmeye yardımcı olur ve ince waferlerin bozulmasına neden olabilecek istenmeyen kızılötesi ısıyı azaltır. 5.000 saatlik kullanımdan sonra bile stabil bir çıkış elde edilebilir ve ölçülen değerler dar bir aralıkta kalır; böylece mJ/cm² değerleri her seferinde sabit kalır.
Neden burada işe yarar?
Waferlerin ayırılması için geniş bir spektrum gerekmez; önemli olan doğru dalga boyunda doğru enerjinin uygulanmasıdır. Yetersiz enerji kullanılırsa yapıştırıcılar hala etkili olur ve zorlu kalıntılar bırakılır. Aşırı enerji kullanılırsa ise ısınma ve film tabakalarının zarar görmesi söz konusu olur.
Bizim lambalarımız, 365 nm dalga boyunda tekrarlanabilir bir enerji sağlar; böylece UV filmleri hızlı ve temiz bir şekilde ayrılır. Böylece döngü süreleri kısalır, atık wafer sayısı azalır ve farklı makinelerde de güvenilir bir performans elde edilir.
Dikkat edilmesi gerekenler
Montaj sırasında reflektörlerin doğru şekilde hizalanması ve balastın uyumluluğundan emin olmak önemlidir. Uyumsuz bir sürücü, arkların stabilitesini bozar ve lambanın ömrünü kısaltır. Bu yüzden konektör türünü, voltajı ve ateşleme profilini sisteminize uygun olup olmadığını kontrol edin.
Bu lambalar normal çalışma koşullarında ozonsuzdur; ancak ömürlerinin sonunda tehlikeli atıklar olarak bertaraf edilmelidir. Ayrıca, radyometrenizin 365 nm dalga boyunda ölçüm yapabildiğinden emin olun; böylece çıkış değerlerini takip edebilir ve tahmin yerine verilere dayanarak lambaları değiştirebilirsiniz.