Ersatz Mercury Lampe für Drucker

Thu, 02 Jul 2026 15:57:56 +0800

In der Halbleiterproduktion kann das Schneiden der Wafer nur so schnell erfolgen, wie es die UV-Trennprozedur zulässt. Wenn die spektrale Ausstrahlung der Lampe schwankt oder die Dosis ungleichmäßig ist, können Probleme wie Delaminierung der Schichten, Bruch an den Rändern der Wafer oder sogar ein vollständiger Waferbruch entstehen. Unsere Ersatzlampen für Quecksilberlampen sind daher so konzipiert, dass eine stabile und wiederholbare Ausstrahlung gewährleistet wird – dadurch kann der Produktionsprozess ohne Unterbrechungen weiterlaufen.

Was technisch wichtig ist:
Wir verwenden Quecksilberdampflampen mit einem Emissionsspektrum, auf das man sich verlassen kann – mit einem Schwerpunkt bei 365 nm. An dieser Wellenlänge sind die meisten UV-Klebstoffe und -Schichten am effektivsten. Die maximale Strahlungsintensität wird so gestaltet, dass genügend Photonen auf die Arbeitsfläche gelangen. Zudem wird die Länge des Lichtbogens so gewählt, dass die Dosis entlang der Trennlinie gleichmäßig ist. Eine dünnwandige Quarzkugel mit Dichroikbeschichtung hilft dabei, das Spektrum zu formen und unerwünschte Infrarotstrahlung zu reduzieren, die dazu führen könnte, dass dünne Wafer beschädigt werden. Nach 5.000 Stunden Betrieb kann man mit einer stabilen Ausstrahlung rechnen – die Abweichungen bleiben dabei in engen Grenzen, sodass die Dosis in mJ/cm² von Auftrag zu Auftrag konstant bleibt.

Drucker on UV Curing Techs

Ersatz Mercury Lampe für Drucker