Trong quy trình sản xuất bán dẫn, việc tách các tấm wafer chỉ có thể diễn ra với tốc độ tương ứng với khả năng của bước tách keo bằng tia UV. Nếu phổ ánh sáng phát ra từ bóng đèn thay đổi hoặc liều lượng ánh sáng không ổn định, điều đó sẽ dẫn đến tình trạng lớp keo bị tách rời, các cạnh của wafer bị vỡ, thậm chí wafer có thể bị nứt. Chúng tôi thiết kế những bóng đèn thay thế để đảm bảo rằng mức độ phát sáng luôn ổn định và có thể lặp lại được, nhờ đó quy trình sản xuất có thể tiếp tục diễn ra một cách trơn tru.
Những yếu tố quan trọng về mặt kỹ thuật Chúng tôi sử dụng bóng đèn chứa hơi thủy ngân ở áp suất cao, với phổ ánh sáng ổn định, tập trung vào bước sóng 365 nm – nơi mà hầu hết các loại keo và lớp phủ dùng để tách keo có hiệu quả cao nhất. Cường độ ánh sáng được điều chỉnh sao cho đủ để chiếu sáng bề mặt wafer, đồng thời chiều dài của dây tia sáng cũng được điều chỉnh sao cho liều lượng ánh sáng trên toàn bộ bề mặt wafer đều nhau.
Lớp phủ dichroic trên vỏ bóng đèn giúp kiểm soát phổ ánh sáng và giảm thiểu hiện tượng nóng lên do tia hồng ngoại gây ra, điều này giúp bảo vệ các tấm wafer mỏng. Bạn có thể mong đợi mức độ phát sáng ổn định sau 5.000 giờ hoạt động, với sai số trong mức cho phép – nhờ đó giá trị mJ/cm² vẫn ổn định từ lần này sang lần khác.
Tại sao phương pháp này hiệu quả? Quá trình tách keo không liên quan đến phổ ánh sáng rộng; điều quan trọng là phải đạt được liều lượng ánh sáng phù hợp ở bước sóng thích hợp. Nếu năng lượng cung cấp quá ít, keo sẽ vẫn còn dính chặt vào wafer. Ngược lại, nếu năng lượng quá nhiều, điều đó sẽ gây ra hiện tượng nóng quá mức và làm hỏng lớp phủ trên wafer.
Những bóng đèn thay thế của chúng tôi cung cấp mức độ năng lượng ổn định ở bước sóng 365 nm, nhờ đó lớp keo sẽ bị tách rời nhanh chóng và sạch sẽ. Kết quả là thời gian xử lý wafer được rút ngắn, số lượng wafer bị hỏng giảm, và chất lượng ánh sáng từ bóng đèn luôn ổn định, dù sử dụng trên nhiều máy khác nhau.
Những điều cần lưu ý Việc lắp đặt yêu cầu phải đảm bảo rằng các bộ phận phản xạ được sắp xếp chính xác, đồng thời bộ phận điều khiển bóng đèn cũng phải tương thích. Nếu bộ phận điều khiển không phù hợp, điều đó sẽ ảnh hưởng đến độ ổn định của bóng đèn và làm giảm tuổi thọ của nó. Vì vậy, hãy kiểm tra kỹ loại kết nối, điện áp và thông số kỹ thuật khác của bóng đèn trước khi lắp đặt.
Những bóng đèn này không tạo ra ozone trong quá trình hoạt động bình thường, nhưng khi hết tuổi thọ, chúng vẫn cần được xử lý theo quy trình dành cho các vật liệu nguy hiểm. Hãy đảm bảo rằng máy đo ánh sáng của bạn có thể đo được ở bước sóng 365 nm, nhằm theo dõi mức độ phát sáng và thay thế bóng đèn dựa trên dữ liệu chính xác, chứ không phải dựa vào phỏng đoán.